射频/直流磁控溅射316L不锈钢/陶瓷复合薄膜组织与性能的研究*

• 作者: 吴起白 曾鹏 温伟祥 盛忠 盛钢 胡显奇 胡社军 谢光荣 黄拿灿
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 司 射频/直流磁控溅射 不锈钢/陶瓷薄膜 组织 性能
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TG14
• 字数: 2549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2001.04.022

摘要

利用射频/直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢/SiO2(Al2O3)复合膜,研究了薄膜的组织和形貌,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性.结果表明,溅射316L不锈钢薄膜和316L/SiO2(Al2O3)复合薄膜都呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和γ-Fe相构成;溅射316L不锈钢薄膜在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向;由于射频溅射陶瓷的掺合,使316L不锈钢/陶瓷复合薄膜柱状晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr(211)晶面出现明显的择优取向,尽管316L不锈钢/陶瓷复合膜的显微硬度相对于磁控溅射316L薄膜提高不大,但其抗磨损性能明显提高,以316L/Al2O3复合膜尤为显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾鹏	广东工业大学材料与能源学院	64	572	13.0	20.0
2	胡社军	广东工业大学材料与能源学院	66	842	14.0	26.0
3	谢光荣	广东工业大学材料与能源学院	82	729	14.0	23.0
4	黄拿灿	广东工业大学材料与能源学院	48	688	14.0	24.0
5	吴起白	广东工业大学材料与能源学院	28	190	9.0	12.0
6	胡显奇		11	232	5.0	11.0
7	盛钢		6	145	3.0	6.0
8	温伟祥	广东工业大学材料与能源学院	5	11	2.0	2.0
9	盛忠		2	3	1.0	1.0