集成电路虚拟制造系统

• 作者: 薛雷 郝跃
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 虚拟制造 可制造性设计 柔性制造系统
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文和技术报告
• 页码范围: 443-447
• 页数: 5页
• 分类号: TN302|TP391.73
• 字数: 4815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2001.04.008

摘要

结合集成电路虚拟制造系统的设计,给出集成电路虚拟制造的系统结构,讨论了系统设计中的两个关键问题,即开放式集成框架软件的开发和集成电路制造系统的建模.在开放式集成框架的支持下,把各种异质仿真软件集成起来,得到支持面向任务的可控工艺流设计和产品可制造性分析能力.另一方面,通过制造系统建模技术,得到制造系统模型,该模型要支持生产过程的优化调度,并在调度结果基础上产生实际的生产控制过程,以集成电路的计算机集成制造系统为依托完成实际的产品制造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子所	312	1866	17.0	25.0
2	薛雷	西安电子科技大学微电子所	4	61	3.0	4.0