声表面波器件的研究进展

• 作者: 李晖 潘峰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 压电薄膜 叉指换能器
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 376-380
• 页数: 5页
• 分类号: TN65
• 字数: 5080字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.05.008

摘要

声表面波器件作为一种新型的电子器件,近年来引起了人们极大的关注,在科学研究领域有了较大的进展,在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛.本文简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用,展望了其今后的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘峰	清华大学材料科学与工程系	30	196	6.0	13.0
2	李晖	清华大学材料科学与工程系	14	283	6.0	14.0