微电子机械系统的力学特性与尺度效应

• 作者: 伍小平 孔德义 张培强 梅涛
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械系统 硅材料 尺度效应 微执行器 微机器人 微机械
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微/纳电子机械系统的基础问题
• 页码范围: 373-379
• 页数: 7页
• 分类号: TH11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.001

摘要

针对微电子机械系统(MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究.从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征.通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论,为设计和制作微机器人等复杂微系统提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梅涛	中国科学技术大学力学与机械工程系	75	1218	19.0	31.0
2	伍小平	中国科学技术大学力学与机械工程系	62	947	16.0	28.0
3	张培强	中国科学技术大学力学与机械工程系	38	865	16.0	29.0
4	孔德义	中国科学院合肥智能机械研究所	32	283	7.0	16.0