直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱

• 作者: 刘榕 叶志镇 张昊翔 赵炳辉 陈汉鸿
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 磁控溅射 光致发光光谱
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1015-1018
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 3051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.08.013

摘要

用直流反应磁控溅射法在硅衬底上沉积C轴择优取向的ZnO晶体薄膜，薄膜呈柱状结构，柱状晶直径约为100nm，晶柱内为结晶性能完整的单晶，而晶界处存在较大的应力．ZnO薄膜在He-Cd激光器激发下有较强的紫外光发射，晶界应力引起ZnO禁带宽度向长波方向移动，提高衬底温度有利于降低晶界应力和抑制深能级的绿光发射．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志镇		155	1638	21.0	35.0
2	赵炳辉		74	719	14.0	24.0
3	陈汉鸿		6	252	5.0	6.0
4	刘榕		1	0	0.0	0.0
5	张昊翔		3	14	1.0	3.0