关于淘汰氟氯烃清洗技术路线的选择

• 作者: 沈金宇
• 来源期刊: 印制电路与贴装
• 学科: 工学
• 关键词: 氟氢烃 清洗技术 半导体制造工艺 洁净技术
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 63-64
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.97

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈金宇		2	0	0.0	0.0