MEMS的设计方法与系统模拟

• 作者: 孟为民 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 模拟 结构化设计 宏模型
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS技术
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3470字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.10.020

摘要

随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移,MEMS系统级模拟变得日益重要.文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁——宏模型的建立及系统级模拟的实现.最后介绍了微加速度计系统模拟的一个例子.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄庆安	东南大学微电子中心	35	415	12.0	19.0
2	李伟华	东南大学微电子中心	13	76	5.0	8.0
3	孟为民	东南大学微电子中心	1	34	1.0	1.0