基于立体成型法的微激励器静态性分析

• 作者: 孙丽
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微激励器 立体成型 静电力 稳定平衡
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2001.06.009

摘要

介绍一种新型的微细加工方法,即微型立体成型法,以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤.详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线,用所制作的微激励器对上述推证结果进行了实验验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙丽		1	0	0.0	0.0