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摘要:
正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准,校准范围为1×102~5×10-5Pa.L/s。
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文献信息
篇名 正压漏孔校准装置
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 工学
关键词 真空计量学 漏率校准 正压漏孔
年,卷(期) 2001,(1) 所属期刊栏目 技术交流
研究方向 页码范围 55-59
页数 5页 分类号 TN107
字数 4487字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.014
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李得天 63 622 15.0 20.0
2 冯焱 51 463 12.0 17.0
3 张涤新 62 468 12.0 17.0
4 张建军 7 88 5.0 7.0
5 许珩 5 56 2.0 5.0
6 龚月莉 3 54 2.0 3.0
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漏率校准
正压漏孔
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真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
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大16开
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1981
chi
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19905
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