GeSi/Si多层异质外延载流子浓度的分布

• 作者: 张秀兰 朱文珍 黄大定
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: GexSi1-x合金 电解液 电化学C-V
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 288-291
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 1968字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.03.008

摘要

通过实验确定了一种与GexSi1-x合金表面具有良好电化学界面的电解液，利用电化学C-V方法研究了多层GexSi1-x/Si异质外延材料的载流子浓度纵向分布．实验结果表明：采用这种电解液，利用电化学C-V载流子浓度纵向分布测量仪检测GexSi1-x/Si异质材料的载流子浓度纵向分布，重复性好，可靠性高．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张秀兰	中国科学院半导体研究所	9	88	4.0	9.0
2	朱文珍	中国科学院半导体研究所	1	0	0.0	0.0
3	黄大定	中国科学院半导体研究所	3	3	1.0	1.0