影响接触显微成像分辨率的若干因素分析

• 作者: 张新夷 徐至展 蒋诗平 谢红兰 陆培祥 陈建文 高鸿奕
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 化学
• 关键词: 软X-射线 接触显微成像 分辨率
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 586-594
• 页数: 4页
• 分类号: O434.19|O644.2
• 字数: 3004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.07.013

摘要

分析了影响软X射线接触显微成像分辨率的若干因素,如:记录过程中的辐射损伤,后续放大设备读出引进的误差,以及菲涅尔衍射效应等,并且提出改善分辨率的一些实用方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐至展	中国科学院上海光学精密机械研究所	163	1107	19.0	24.0
2	蒋诗平	中国科学院上海光学精密机械研究所	50	248	9.0	12.0
3	高鸿奕	中国科学院上海光学精密机械研究所	26	95	6.0	8.0
4	陈建文	中国科学院上海光学精密机械研究所	38	164	8.0	10.0
5	陆培祥	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	56	5.0	7.0
6	谢红兰	中国科学院上海光学精密机械研究所	36	150	6.0	11.0
7	张新夷		35	151	8.0	11.0