膜厚影响SnO2厚膜型气敏元件敏感特性的研究

• 作者: 傅军 董名友
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2气敏元件 膜厚 热处理 气敏特征
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 1255-1258
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.039

摘要

采用丝网印刷技术制备不同膜厚Sn02厚膜气敏试样,在不同温度下进行热处理后测定了试样的阻温曲线和对乙醇气体的灵敏度,结果表明制备不同膜厚试样的气体灵敏度不同,阻温曲线也不同.要制备灵敏度高、一致性好的气敏器件,调整控制膜厚和及其热处理温度至关重要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅军	海南师范学院物理系	44	137	6.0	10.0
2	董名友		2	9	2.0	2.0