重掺硅中氧的测定

• 作者: 刘培东 李立本 沈益军 阙端麟 黄笑容
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅中氧 气体熔化分析法 红外光谱
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1284-1286
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.0
• 字数: 1994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.10.012

摘要

研究了重掺硅中氧的测定,实验首先选用轻掺(ρ＞10Ω@cm)样品分别用气体熔化分析法(GFA法)和傅里叶变换红外法(FTIR法)测氧,而后用GFA法测定了重掺锑、砷、硼单晶的氧浓度.实验发现用GFA法和FTIR法测氧,二者的结果成很好的线性关系,为便于比较可将重掺硅在GFA法下的测定结果转换为FTIR法下的测定结果,还对影响GFA法测定结果的样品制取、样品处理、测试参数选择等方面进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阙端麟		72	612	13.0	20.0
2	黄笑容		3	19	2.0	3.0
3	沈益军		3	23	3.0	3.0
4	李立本		11	94	7.0	9.0
5	刘培东		1	10	1.0	1.0