真空微电子传感器研究及进展

• 作者: 夏善红
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 传感器 真空微电子 压力 磁
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统器件与工艺
• 页码范围: 535-538
• 页数: 4页
• 分类号: TP21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.030

摘要

介绍真空微电子传感器的研究和发展概况,着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展,并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所	111	654	14.0	18.0