压膜阻尼在声表面波加速度传感器中的应用

• 作者: 史国伟 王锋 陈明
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波(SAW)加速度传感器 压膜阻尼 机电模拟
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TH823
• 字数: 3196字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2001.03.006

摘要

声表面波（SAW）加速度传感器的精度高，具有数字量输出、体积小、功耗低、抗干扰力强、可靠性高等优点。根据SAW加速度传感器工程化的需要，对SAW加速度传感器中所采用的压膜阻尼进行了理论分析，并采用机电等效模拟技术对微间隙压膜阻尼进行了仿真，取得了较好的效果。这种分析方法同样适用于其他类型的传感器。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王锋	西北工业大学自动控制系	21	162	6.0	12.0
2	史国伟	西北工业大学自动控制系	3	12	2.0	3.0