微电子机械系统的进展与应用前景

• 作者: 王长河
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 微结构 传感器 执行器 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 页码范围: 3-5
• 页数: 3页
• 分类号: TP271.4

摘要

本文论述了MEMS的研究进展、设计思想、主要加工技术及应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王长河		10	5	1.0	2.0