非理想软X射线光学多层膜的掠入射镜向反射率

• 作者: 何忠杰 姜恩永 田仁玉 白海力
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线光学多层膜 层厚漂移 界面粗糙度 界面扩散 掠入射镜向反射率 模拟退火Monte-Carlo方法
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 121-126
• 页数: 6页
• 分类号: O485|TG115.221.5
• 字数: 4062字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2001.02.003

摘要

对实际软X射线光学多层膜中普遍存在的主要非理想因素(层厚漂移、界面粗糙度和界面扩散)进行了定量描述基于动力学光学理论,计算了上述非理想因素对软X射线光学多层膜的掠入射镜向反射率的影响结果表明:层厚的随机漂移使反射率、尤其是高级反射率降低;累积层厚漂移破坏了多层膜的长程有序性,使反射峰展宽;界面扩散和界面粗糙度使反射率降低,对高级反射率的影响更甚,但二者并不破坏多层膜的长程有序性,所以反射峰的宽度不变;界面扩散和界面粗糙度对反射率影响的机制不同;在界面扩散宽度和界面粗糙度相等的情况下,界面粗糙度使反射率下降显著用模拟退火Monte-Carlo方法对Co/C软X射线光学多层膜进行了结构评价.该方法能避免复杂的求导运算,在软X射线光学多层膜的结构评价中具有较强的实用性

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白海力	天津大学理学院应用物理学系	12	62	4.0	7.0
2	姜恩永	天津大学理学院应用物理学系	44	225	8.0	14.0
3	田仁玉	华南理工大学应用物理系	9	30	3.0	5.0
4	何忠杰	天津大学理学院应用物理学系	1	2	1.0	1.0