一种新的求解ULSI双介质互连电容的模拟电荷法

• 作者: 刘勇 宋任儒 朱兆旻 肖夏 阮刚
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 格林函数法 模拟电荷法 互连电容
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 208-213
• 页数: 6页
• 分类号: TN47
• 字数: 2986字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.02.020

摘要

论述了一种模拟电荷法与镜像格林函数法相结合，对模拟电荷用DFP法进行最优设置的提取双介质ULSI互连电容参数的基本算法，并与其它互连电容模拟软件模拟的结果进行了比较，相对偏差小于10%，表明这种新的模拟电荷法是有效的和可行的．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘勇	复旦大学电子工程系专用集成电路与系统国家重点实验室	41	427	11.0	20.0
2	阮刚	复旦大学电子工程系专用集成电路与系统国家重点实验室	15	116	6.0	10.0
3	朱兆旻	复旦大学电子工程系专用集成电路与系统国家重点实验室	4	55	3.0	4.0
4	宋任儒	复旦大学电子工程系专用集成电路与系统国家重点实验室	5	25	3.0	5.0