大规模半导体器件厂房通风空调节能分析

• 作者: 罗远桂
• 来源期刊: 暖通空调
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件厂房 洁净室 通风 空调 节能 变频调速
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流园地
• 页码范围: 83-85
• 页数: 3页
• 分类号: TU83
• 字数: 3502字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8501.2001.06.023

摘要

分析了大规模半导体器件生产厂房通风空调系统的特点,并以某工程为例,说明该类厂房能耗大的现状,从设计计算和运行管理的角度分析了造成这一不合理现状的原因,指出该类厂房应采用变频技术,按照生产和非生产工况,对送风量、排风量和新风量进行调节、控制,达到节能的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗远桂		1	0	0.0	0.0