MEMS技术的现状及发展趋势

• 作者: 李志信 罗小兵 过增元
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 应用现状 发展趋势
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS技术
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: TN40
• 字数: 2615字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.09.020

摘要

主要介绍了MEMS的研究和应用现状,分别从市场和技术的角度分析了MEMS的发展趋势.还根据国内研究现状,提出了我国发展MEMS的若干设想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	过增元	清华大学工程力学系	149	3472	29.0	55.0
2	罗小兵	清华大学工程力学系	8	185	7.0	8.0
3	李志信	清华大学工程力学系	83	1232	20.0	32.0