微全分析系统中的MEMS技术

• 作者: 崔大付
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 化学
• 关键词: 微全分析系统 微电子机械系统 生物芯片
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 芯片实验室
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: O65|TN4
• 字数: 4328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2001.04.008

摘要

微全分析系统(μTAS)的研究和应用,近年来有了巨大发展.本文将着重叙述基于MEMS技术的μTAS的研究和发展,扼要介绍设计、制造μTAS的一些新技术、新材料和新方法,以及我们在研制μTAS方面的一些进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所	77	974	17.0	27.0