铝诱导非晶硅薄膜低温晶化及结构研究

• 作者: 周雪梅 徐重阳 曾祥斌 王长安 赵伯芳 饶瑞
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 金属诱导 非晶硅薄膜 低温晶化 多晶硅薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 447-448
• 页数: 2页
• 分类号: TN304|TN305
• 字数: 967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.04.042

摘要

介绍了一种非晶硅薄膜低温晶化的新工艺--金属诱导非晶硅薄膜低温晶化.在非晶硅膜上蒸镀金属铝薄膜,而后于氮气保护中退火,实现了非晶硅薄膜的低温(＜600℃)晶化.利用X射线衍射、光学显微镜及透射电镜等测试方法,研究了不同退火工艺对非晶硅薄膜低温晶化的影响,确定了所制备的是多晶硅薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重阳	华中理工大学电子科学与技术系	33	239	9.0	14.0
2	曾祥斌	华中理工大学电子科学与技术系	8	34	3.0	5.0
3	王长安	华中理工大学电子科学与技术系	7	32	3.0	5.0
4	周雪梅	华中理工大学电子科学与技术系	6	32	3.0	5.0
5	赵伯芳	华中理工大学电子科学与技术系	7	39	4.0	6.0
6	饶瑞	华中理工大学电子科学与技术系	3	14	2.0	3.0