具有纳米级分辨率的超精密定位工作台

• 作者: 吴健 林德教 殷纯永
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性铰链 定位工作台 纳米级分辨率 压电陶瓷 双频激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 556-557,559
• 页数: 3页
• 分类号: TH112.5
• 字数: 2130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2001.06.031

摘要

柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点.设计了一种具有较大传动比的定位工作台,介绍了其系统结构和工作原理,并对刚度性能作了分析.利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台特性进行了测量.结果表明,该工作台具有纳米级的分辨率和定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷纯永		43	662	14.0	24.0
2	林德教		10	208	7.0	10.0
3	吴健		30	257	7.0	15.0