等离子化学气相沉积（PCVD）计算机控制系统

• 作者: 张坤 王振清
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子化学气相沉积 计算机控制 VB编程
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 2029字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2001.06.001

摘要

介绍了一种基于IBM-PC机的多参数、高精度控制系统，运用VB、VC语言编程，包括多路A／D转换、D／A转换和I／O控制，应用于等离子化学气相沉积（PCVD）及其他类似系统。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张坤	北京航空航天大学材料科学与工程系	41	422	13.0	18.0
2	王振清	北京航空航天大学材料科学与工程系	35	63	5.0	6.0