微机械热对流加速度计

• 作者: 李立杰 梁春广
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热对流 加速度计 微机械
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 465-468
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.04.016

摘要

介绍了基于流体运动的加速度计的原理和制作．它的原理是自然对流受到加速度信号而产生对流形变，从而产生温度差，由这个温度差感应了加速度、倾斜、位置变化．这种加速度计由一个充有流体的密闭腔体组成，腔体中包含了一个加热元件和两个对称放置的温度敏感元件．为了实现这种加速度计，采取了微机械制作方法中的前腐蚀工艺，把加速度计和伺服电路集成并封装在一起，测试了加速度效应．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁春广		9	68	3.0	8.0
2	李立杰		2	50	2.0	2.0