BC2N薄膜的柱状生长及生长机理

• 作者: 贺德衍 陈光华 马锡英
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: BC2N 柱状生长 CVD法
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 2023-2027
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.10.035

摘要

应用热丝辅助等离子体化学气相沉积法(CVD)合成了表面呈柱状的BC2N薄膜,X射线、红外及X射线电子能谱分析表明,薄膜的化学组分主要为BC2N,B,C和N原子间互相结合成键.扫描电镜观察到,薄膜表面形貌呈排列整齐、取向一致的柱体,并且发现这种生长方式与沉积参数密切相关.最后从结合能方面讨论了柱状BC2N的生长机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺德衍	兰州大学物理科学与技术学院	68	559	13.0	19.0
2	陈光华	北京工业大学应用物理系	65	396	11.0	16.0
3	马锡英	兰州大学物理科学与技术学院	2	5	2.0	2.0