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摘要:
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半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
超纯水系统EDI装置化学清洗及灭菌方法
电去离子技术(EDI)
化学清洗
灭菌
反渗透技术在大型电子超纯水项目中的应用
反渗透
自来水
电子超纯水
超纯水系统中EDI产水量调节方式改造
超纯水
电去离子
产水量调节
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 超纯水的净化及其设备
来源期刊 水处理信息报导 学科 工学
关键词 超纯水 净化 设备
年,卷(期) 2001,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 49-50
页数 2页 分类号 TQ085
字数 语种
DOI
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传播情况
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引文网络
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2001(0)
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研究主题发展历程
节点文献
超纯水
净化
设备
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
水处理信息报导
双月刊
天津市丁字沽三号路85号化工部天津化工研
出版文献量(篇)
4709
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8
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0
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