电容式微加速度计的噪声特性

• 作者: 余从唏 文贵印 胡军 胡红革 赵锡均
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微加速度计 机械热噪声 机械阻尼 谱密度 灵敏度阈值 动态范围
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 18-19，23
• 页数: 3页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2096字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.11.006

摘要

电容式微加速度计的噪声包括机械热噪声和电热噪声;主要分析了机械热噪声在开环系统和闭环系统中的噪声特性以及开环系统和闭环系统检测的动态范围,提出电容式微加速度计的噪声主要由机械热噪声的大小决定;同时,机械热噪声的大小又主要取决于温度和机械阻尼的大小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡红革	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	53	4.0	6.0
2	胡军	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	126	7.0	11.0
3	赵锡均	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	49	2.0	7.0
4	文贵印	中国工程物理研究院电子工程研究所	16	70	5.0	8.0
5	余从唏	中国工程物理研究院电子工程研究所	1	13	1.0	1.0