形位误差光电检测系统研究

• 作者: 李成志 谢劲松 赵铁钧
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电检测 激光扫描 形位误差
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 测量
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: TG806|TG83
• 字数: 4251字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2001.01.001

摘要

简述了形位误差光电检测系统的结构和工作原理，为保证扫描速度均匀，利用激光特性而设 计特殊的光学系统。 为满足检测系统需要而设计了精密机械系统，伺服控制系统，电子学 和计算机数字计算与数据处理系统，实现了高速、高效、高精度、非接触的自动检测。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李成志		5	69	4.0	5.0
2	谢劲松		1	2	1.0	1.0
3	赵铁钧		1	2	1.0	1.0