肼对硅片的各向异性腐蚀技术研究

• 作者: 吴紫峰 孙晓冬 李东宏
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 各向异性腐蚀 肼 硅片
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS专题
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.08.022

摘要

采用肼水溶液在各种条件下对硅片进行腐蚀,通过分析与腐蚀速率有关的因素，即改变腐蚀溶液温度和肼的质量分数，来提高腐蚀速率。整个实验过程实质就是寻求最佳腐蚀工艺条件，从而提高硅片的表面质量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴紫峰		5	16	3.0	4.0
2	孙晓冬		4	13	2.0	3.0
3	李东宏		1	0	0.0	0.0