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微细电解加工技术的发展现状
微细电解加工
脉冲电源
掩膜
铣削加工
复合电解加工
研究现状
CAD/CAM的电化学微细加工技术
微细加工, CAD/CAM, 电化学展成加工
双光子微细加工系统数据处理软件的实现
双光子微细加工
数据处理
CAD/CAM
VC++
MFC
微小型齿轮的微细滚削加工研究
微小型齿轮
齿轮滚刀
滚刀设计
微细滚削加工
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用于大晶片加工的微细加工系统
来源期刊 光机电信息 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2001,(7) 所属期刊栏目 专题聚焦
研究方向 页码范围 20-22
页数 3页 分类号 TN2
字数 1934字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1007-1180.2001.07.003
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光机电信息
月刊
1007-1180
22-1250/TH
大16开
吉林省长春市
12-171
1958
chi
出版文献量(篇)
2287
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1
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7000
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