用于微位移测量的笔束激光干涉仪

• 作者: 李直 李达成 赵洋
• 来源期刊: 光学技术
• 关键词: 微位移测量 笔束激光干涉仪 光学傅立叶变换
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 测量
• 页码范围: 206-208
• 页数: 3页
• 字数: 2442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2001.03.004

摘要

介绍了一种基于空间干涉原理的亚微米零差干涉位移测量方法.该方法是对笔束激光干涉仪在微位移测量领域的应用,干涉仪的测量精度不受光束波前畸变等光源噪声的影响.给出了干涉仪主要结构参数的选取原则;构建了用于微位移测量的笔束激光干涉仪实验系统.实验结果表明,该系统具有纳米测量分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李达成	清华大学精密仪器与机械学系	43	658	15.0	24.0
2	赵洋	清华大学精密仪器与机械学系	21	350	10.0	18.0
3	李直	清华大学精密仪器与机械学系	4	53	4.0	4.0