温度对N离子注入金属深度分布的影响

• 作者: 张鹏程 白彬 邹觉生 陈元儒
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 温度 深度分布 N
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 82-86
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 4503字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2001.01.017

摘要

研究了N离子注入金属表面时温度对N原子深度分布的影响.在常温-460℃范围内N离子注入到α-Fe和316L奥氏体不锈钢中的深度分布显著依赖于注入温度和基体材料.随注入温度升高,α-Fe中N深度分布形态为准Gauss形、梯形和扩散形,并发现N注入存在"盲区"注入温度,N表观扩散系数与注入温度的关系完全偏离Arrhenius方程.在316L不锈钢中,N呈扩散形分布,其表观扩散系数与注入温度的关系与Arrhenius方程较吻合.通过Auger谱线形分析、X射线衍射分析和TEM组织分析,认为N注入金属深度分布由离子注入混合作用、化学效应和热扩散作用中占主导地位者决定

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏程		52	290	10.0	14.0
2	邹觉生		36	278	10.0	13.0
3	白彬		35	150	8.0	10.0
4	陈元儒	西南交通大学材料工程系	13	104	6.0	10.0