半导体制造系统的优化调度模型

• 作者: 卫军胡 孙国基 韩九强
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 仿真调度 优化调度
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 建模与仿真方法
• 页码范围: 133-135,138
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 4456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-731X.2001.02.001

摘要

在流体网络模型的基础上建立了以减小平均在制品水平目标的半导体制造系统的调度模型.这些模型通常很难求解，但它们是可分解的，即可以把整个调度周期上的调度问题分解为一系列子区间上的调度子问题.在半导体生产环境下，子问题可以进一步简化.把上述结果当作调度规则直接应用于基于仿真的调度方法，可以克服流体网络模型的近似性，同时，由于充分利用了系统全局的状态信息，提高了仿真调度的优化能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩九强	西安交通大学系统工程研究所	109	903	16.0	24.0
2	孙国基	西安交通大学系统工程研究所	105	1643	20.0	37.0
3	卫军胡	西安交通大学系统工程研究所	34	559	11.0	23.0