利用共焦成像原理实现微米级的三维轮廓测量

• 作者: 孔兵 王昭 谭玉山
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 共焦 光学测量 内插值 二次曲面拟合
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 页码范围: 1151-1154
• 页数: 4页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2001.11.013

摘要

以普通光学成像透镜取代显微物镜,以针孔阵列(500×500)取代单针孔,实现了全场并行共焦测量.在数据处理上,采用了内插值三维重构算法,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度.实验表明,系统的最大横向测量范围为5 mm×5 mm,横向测量精度约为13 μm,纵向测量精度约为5 μm,因此可大大提高测量视场及测量速度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王昭	西安交通大学机械工程学院	63	763	13.0	26.0
2	谭玉山	西安交通大学机械工程学院	77	1184	18.0	31.0
3	孔兵	西安交通大学机械工程学院	18	543	8.0	18.0