激光微加工技术纵览:基本原理、实际应用及未来展望

• 作者: 陈军伟
• 来源期刊: 光机电信息
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 专题聚焦
• 页码范围: 15-21
• 页数: 7页
• 字数: 5492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1180.2001.11.002

摘要

激光微加工技术现已广泛应用于包括精密微成形在内的材料加工中.深紫外激光器在用于芯片制造业的光刻领域中有着极为广阔的应用前景,而飞秒脉冲激光器为微成形加工开辟了新的发展空间.与传统的材料加工方法相比,激光加工具有众多的优点,诸如能处理多种材料,能进行无损分离,具有小的热影响区、最小机械影响及热变形,并具有在二维甚至三维方向上沿复杂的断面进行微成形的可能性以及能够实现快速精确关断、开通等优点.