静电式微开关硅悬臂梁的变形分析

• 作者: 胡国清 许高攀 陈广文
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 变形 增量法
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1721字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.12.011

摘要

介绍了一种计算微开关的硅悬臂梁在电场力作用下的变形的方法,由于作用在梁上的载荷随着梁的变形而变化,用积分法计算存在相当困难,以下提出了一种计算变形的新方法:将梁分为m个小段,则梁上的分布力可近似为m个集中力,将初始均布载荷分成n步,逐步加载,在每个载荷步后根据变形结果修正m个集中力,同时增加一个载荷增量,作为下一步的载荷.只要m和n取到充分大,就可得到梁变形的精确结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡国清	厦门大学机电工程系	61	929	15.0	29.0
2	陈广文	厦门大学机电工程系	4	34	3.0	4.0
3	许高攀	厦门大学机电工程系	6	86	5.0	6.0