CD-R光盘盘基槽深和槽宽均匀性测试方法研究

• 作者: 何红 干福熹 徐文东 施宏仁 林强
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: CD-R光盘盘基 沟槽 光栅 衍射方法
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 994-998
• 页数: 5页
• 分类号: TP333.4+3
• 字数: 3740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2001.11.010

摘要

介绍了一种利用衍射方法测试CD-R光盘盘基槽深和槽宽均匀性的方法.CD-R光盘盘基槽深和槽宽均匀性的测试对于CD-R光盘的制造非常重要,它可反映出母盘涂胶、刻录、显影、金属化、电铸及盘基复制的质量.尽管它不能精确测试沟槽的形状,但在测试均匀性时却显得简单、可靠、灵敏、快速和无损.同时给出同一盘基用衍射方法和原子力显微镜方法的测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干福熹	中国科学院上海光机所	288	2527	23.0	29.0
2	徐文东	中国科学院上海光机所	38	490	11.0	22.0
3	林强	中国科学院上海光机所	35	196	9.0	12.0
4	何红	中国科学院上海光机所	5	52	4.0	5.0
5	施宏仁	中国科学院上海光机所	6	13	2.0	3.0