不同CHF3/CH4流量比下沉积a-C:F:H薄膜键结构的红外分析

• 作者: 宁兆元 方亮 甘肇强 程珊华 辛煜 陆新华
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: a-C:F:H薄膜 傅里叶变换红外光谱 紫外可见光谱
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 2492-2496
• 页数: 5页
• 字数: 3361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.12.039

摘要

通过微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法使用CH4/CHF3源气体制备a-C:F:H薄膜.红外结果表明,a-C:F:H薄膜随着流量比R=[CHF3]/[CHF3]+[CH4])的变化存在结构上的演变,R＜64%时,薄膜主要是以类金刚石(DLC)特征的结构为主;当R＞64%时,薄膜表现为一个类聚四氟乙烯(PTFE)的结构,结构单体主要为-CF2.同时这种结构上的变化影响着薄膜的光学带隙.在类DLC特征结构区,Eg随着流量比的增加而下降,而在类PTFE区,Eg则随着流量比的上升而上升.a-C:F:H薄膜在R＞92%时透射率接近100%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁兆元	苏州大学物理系	70	528	12.0	18.0
2	方亮	苏州大学物理系	23	132	5.0	10.0
3	陆新华	苏州大学化学系	16	95	6.0	9.0
4	辛煜	苏州大学物理系	38	176	8.0	10.0
5	甘肇强	苏州大学物理系	15	97	6.0	9.0
6	程珊华	苏州大学物理系	30	347	11.0	17.0