边缘阻尼对横向振动微谐振器品质因子的影响

• 作者: 章彬 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振器 Q值 振动 空气阻尼 功耗
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 页码范围: 741-745
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 3911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.06.014

摘要

对微结构而言,空气表面层阻尼计算模型一般用库特模式(Couette-type)和斯托克斯模式(Stocks-type),但是已报道的模型计算所得到Q值最小误差范围只能达到10%-20%.论文考虑了边缘效应的影响,建立了一个分析模型,对已知的几种横向振动谐振器的Q值进行了计算,并将其与实测值比较.结果表明此模型所得Q值的平均误差小于10%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄庆安	东南大学微电子中心	35	415	12.0	19.0
2	章彬	东南大学微电子中心	5	28	3.0	5.0