一种微机械光开关的分析和设计

• 作者: 李玉璋 贾玉斌 陈良惠
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 光开关 悬臂梁 阈值电压
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 837-840
• 页数: 4页
• 分类号: TN223
• 字数: 807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.07.005

摘要

对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析.利用机械和电学特性,导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系,并给出了阈值电压的计算公式.指出外加电压与梁的宽度无关,与梁的长度的平方成反比.悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3.这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈良惠	中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心	59	338	11.0	15.0
2	李玉璋	中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心	3	21	3.0	3.0
3	贾玉斌	中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心	2	16	2.0	2.0