流延法制备AlN陶瓷基板的研究

• 作者: 庄汉锐 张擎雪 曹峻 邬凤英
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝基板 流延成型 假塑性流体 二次排胶 沿晶断裂
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 269-276
• 页数: 8页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3539字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2001.02.013

摘要

从颗粒尺寸、浆料流体类型、干燥条件、排胶机制等方面对流延法制备AlN陶瓷基板展开了较为系统的研究.结果表明，颗粒尺寸的不同直接影响到浆料粘度及分散剂用量.适于AlN流延成型的浆料流体类型属于假塑性流体.保持一定的溶剂气氛有利于获得表面平整光滑的流延素坯膜.二次排胶有利于排除AlN流延素坯膜中的残余碳.烧结后基板的断口SEM照片表明晶粒发育较为完善，无明显开气孔，断裂模式为沿晶断裂.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄汉锐	中国科学院上海硅酸盐研究所	43	399	11.0	18.0
2	邬凤英	中国科学院上海硅酸盐研究所	8	145	5.0	8.0
3	张擎雪	中国科学院上海硅酸盐研究所	9	82	4.0	9.0
4	曹峻	中国科学院上海硅酸盐研究所	2	36	2.0	2.0