双E形结构硅压力传感器的研制

• 作者: 唐世洪
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 各向异性腐蚀 双E形结构硅弹性膜 压力传感器
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 26-27
• 页数: 2页
• 分类号: TP212-12
• 字数: 1546字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.01.010

摘要

介绍利用硅的各向异性腐蚀工艺腐蚀出的一种双E形结构非整体结构弹性膜硅芯片及用此芯片封装成的压力敏感元件。借助于这种硅芯片与不同厚度的封孔膜结合，制成了灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐世洪	湖南吉首大学物理与电子工程系	4	21	3.0	4.0