新型水晶体波谐振式膜厚传感器

• 作者: 徐军 李欣 李瑞杰 林冬辉 林江
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 膜厚传感器 B模式 厚度切变振动 修 正SC切型 同线场电极
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 设讨与制造
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.04.008

摘要

介绍一种利用B模式厚度切变体波工作的新型水晶谐振式膜厚传 感器。它采用修正式SC切型，以同线场电极激励。它可以在10～280 ℃范围内工作，其测 量范围为0.1～80 nm，准确度为0.02 nm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李欣	哈尔滨理工大学工业技术学院	65	290	10.0	13.0
2	徐军	哈尔滨理工大学工业技术学院	38	173	8.0	11.0
3	林冬辉		2	10	1.0	2.0
4	林江		5	29	3.0	5.0
5	李瑞杰		5	36	3.0	5.0