日本微电子机械系统研究现状

• 作者: 庄庆德 王善慈 陈书旺
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 微电子机械系统 微机械加工
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS技术
• 页码范围: 63-65
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 3787字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.11.022

摘要

介绍了日本微电子机械系统的发展现状.分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域、面临的问题以及今后发展的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄庆德	河北科技大学信息学院	19	165	6.0	12.0
2	王善慈		5	35	3.0	5.0
3	陈书旺	河北科技大学信息学院	38	148	7.0	10.0