几何光探针法在表面形貌测量中的应用

• 作者: 杨春兰 浦昭邦 赵辉
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 几何光探针 离焦误差检测 共焦显微镜 表面形貌
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TB96
• 字数: 2982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2001.01.008

摘要

本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦昭邦		108	1776	24.0	36.0
2	杨春兰		2	10	1.0	2.0
3	赵辉		42	514	12.0	21.0