(Pb,La)TiO3铁电薄膜的表面态分析

• 作者: 朱基亮 朱建国 潘宇 申林 肖定全
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射 (Pb,La)TiO3 铁电薄膜 EDAX XPS
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 149-150,153
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.02.015

摘要

利用(Pb,La)TiO3陶瓷靶材,采用射频磁控溅射技术室温淀积,其后在600℃下退火,制备了PLT铁电薄膜.通过对薄膜进行XPS和EDAX分析,发现薄膜表面富钛.与利用其它工艺技术如多离子束反应共溅射、sol-gel等技术制备的PLT铁电薄膜进行对比可以看出,利用不同技术制备的铁电薄膜,具有不同的表面态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱基亮	四川大学材料科学系	22	85	4.0	8.0
2	肖定全	四川大学材料科学系	178	2267	24.0	42.0
3	朱建国	四川大学材料科学系	124	1424	17.0	35.0
4	申林	四川大学材料科学系	6	105	5.0	6.0
5	潘宇	四川大学材料科学系	1	0	0.0	0.0