带锥敏感薄膜形变特性有限元仿真

• 作者: 廖波 韩建保 马岳峰
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 有限元仿真 场发射压力传感器 灵敏度
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 36-37
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 2676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.09.012

摘要

在一种新的基于真空二极管原理的场发射压力传感器中,阴极发射尖锥体和敏感薄膜制备于同一硅片上,从而简化了传感器的封装工艺,但因此可能导致传感器灵敏度的减小.利用有限元仿真技术,计算了在外部压力作用下,几何形状比较复杂的带尖锥体敏感薄膜的横向挠度形变特性.计算结果表明,与不带尖锥体的敏感薄膜相比较,带尖锥体敏感薄膜在额定外部静压力作用下的最大横向挠度的减小量小于0.4%,因此对传感器灵敏度的影响可以忽略不计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩建保	北京理工大学车辆工程系	41	251	8.0	14.0
2	马岳峰	北京理工大学车辆工程系	37	515	12.0	22.0
3	廖波	北京理工大学电子工程系	19	100	7.0	9.0