MOS场效应管压力微传感器

• 作者: 冯勇建 卞剑涛 许金海 颜黄苹
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微传感器 MOS场效应管 压力测量
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1813字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.05.006

摘要

阐述了一种MOS场效应管（MOSFET）压力微传感器的结构和基本工作原理。通过对该传感器的仿真实验，证明了MOSFET压力微传感器可通过简单的电压——电流转换原理，利用栅极电容的变化导致漏极电流与开启电压的变化而有效地测出作用于栅极膜片的压力的变化，具有较高的灵敏度与稳定性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学机电工程系	103	953	15.0	26.0
2	卞剑涛	厦门大学机电工程系	10	46	5.0	6.0
3	颜黄苹	厦门大学机电工程系	22	115	7.0	9.0
4	许金海	厦门大学机电工程系	6	38	4.0	6.0