掺氮类金刚石薄膜激光退火的Raman光谱研究

• 作者: 史伟民 夏义本 居建华 张伟丽 李志锋 汤定元 王林军 郑国珍 黄志明
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 激光退火 拉曼光谱 热稳定性
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 473-474,477
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.05.009

摘要

采用功率密度分别为300、750和1500W/mm2的氩离子激光器,对由射频等离子化学气相沉积(RF-CVD)法制备的掺氮类金刚石薄膜进行了激光退火处理.并用傅立叶红外吸收光谱和显微Raman等手段,对所得样品进行了研究.结果表明:C-N键比C-H键更为稳定,一方面氮原子的引入制约了C-H键的生成,在激光退火中减少了因C-H键分解而引起薄膜的石墨化;另一方面生成的C-N键不易受热分解;因此随着氮含量的增加,薄膜中C-N成分增加,从而提高了类金刚石薄膜的热稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	中国科学院上海技术物理研究所	111	725	13.0	19.0
3	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
4	张伟丽	上海大学材料科学与工程学院	18	104	7.0	9.0
5	居建华	中国科学院上海技术物理研究所	28	114	7.0	9.0
7	黄志明	中国科学院上海技术物理研究所	43	424	10.0	19.0
8	郑国珍	中国科学院上海技术物理研究所	6	33	3.0	5.0
9	汤定元	中国科学院上海技术物理研究所	16	70	4.0	7.0
10	史伟民	上海大学材料科学与工程学院	56	313	10.0	14.0
11	李志锋	中国科学院上海技术物理研究所	37	186	8.0	12.0